半导体设备是实现半导体制造工艺的媒介工具，在各个环节均发挥重要作用。近年来，半导体行业国产化进程进一步提速，且半导体设备环节业绩比整体行业更具弹性。半导体设备国产化迎黄金浪潮，国产半导体设备正迎来更充沛的验证试用、技术合作、进口替代机遇。
一、半导体设备定义及产业链
半导体专用设备泛指用于生产各类半导体产品所需的生产设备，属于半导体行业产业链的支撑环节。在整个芯片制造和封测过程中，会经过上千道加工工序，细分又可以划分出百种不同的机台，占比较大市场份额的主要有：光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备、离子注入机、测试机、分选机、探针台等。
半导体设备产业链中，上游为零部件和系统软件；中游为半导体设备，光刻机、刻蚀机、离子注入机、涂胶显影设备、氧化炉、CMP/CVD/PVD设备、质检及电学检测设备等；下游为半导体产品，主要包括分立器件、光电子器件、传感器和集成电路。
资料来源：中商产业研究院整理
二、半导体设备行业发展政策
半导体设备是半导体产业发展的基础和技术进步的关键，在半导体产业中占有重要地位。为推动半导体设备行业发展，增强产业创新能力和国际竞争力，我国近年来从战略地位、人才、资金、技术、税收、市场等各方面出台了一系列支持性政策。
资料来源：中商产业研究院整理
三、半导体设备行业发展现状
1.市场规模
中国半导体设备的市场规模增速明显，从2017年的554.18亿元增长至2019年的905.70亿元。2020年，中国半导体设备市场亦保持快速增长趋势，销售额为1260.62亿元，同比增长达39.2%，成为全球第一大半导体设备市场；2021年，中国半导体设备市场连续增长，销售额为1993.35亿元，同比增长达58.1%，连续两年成为全球第一大半导体设备市场。2022年中国半导体预计将继续增长，规模达到2745.15亿元。
数据来源：SEMI、中商产业研究院整理
2.市场结构
从细分产品来看，光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备为半导体设备主要核心设备，分别占比24%、20%、20%。其次为测试设备和封装设备，分别占比9%、6%。
数据来源：SEMI、中商产业研究院整理
3.进口情况
中国半导体设备行业整体国产化率的提升还处于起步阶段，目前国内半导体生产厂商所使用的半导体设备仍主要依赖进口。根据中国电子专用设备工业协会的统计，2021年半导体设备进口46894台，合计进口额1147.96亿元，同比分别增长84.3%和56.4%。
数据来源：中国电子专用设备工业协会、中商产业研究院整理
4.国产化率情况
中国设备产业未来10年，第一步将迎接中国半导体产业对设备投资需求成倍的增长，同时目标将国产化率从平均5%~10%，提升到70%~80%以上甚至更高；第二步中国设备技术能力与国际厂商同台竞技之后，实现打开国门走向世界。
只有在设备上拥有核心技术升级与迭代能力，才能真正实现半导体制造上实现超越，国产化率是当务之急，也势不可挡。
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四、半导体设备行业重点企业
1.北方华创
北方华创科技集团股份有限公司主要从事半导体基础产品的研发、生产、销售和技术服务。主要产品为电子工艺装备和电子元器件。北方华创是国内设备厂商龙头企业，主营氧化扩散设备、刻蚀设备（干法刻蚀）、薄膜沉积工艺CVD和PVD、清洗设备等，几乎涵盖了半导体设备全领域。
2022年第一季度北方华创实现营业收入21.36亿元，同比增长50.11%；实现归母净利润2.06亿元，同比增长182.19%。
数据来源：中商产业研究院整理
2021年北方华创营收主要分为电子工艺装备、电子元器件，其中电子工艺装备营收达79.49亿元，占比82.1%；电子元器件营收达17.15亿元，占比17.7%。
资料来源：中商产业研究院整理
2.芯源微
沈阳芯源微电子设备股份有限公司主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，产品包括光刻工序涂胶显影设备（涂胶/显影机、喷胶机）和单片式湿法设备（清洗机、去胶机、湿法刻蚀机），可用于8/12英寸单晶圆处理（如集成电路制造前道晶圆加工及后道先进封装环节）及6英寸及以下单晶圆处理（如化合物、MEMS、LED芯片制造等环节）。
2022年第一季度芯源微实现营业收入1.84亿元，同比增长62.83%；实现归母净利润0.32亿元，同比增长357.14%。
数据来源：中商产业研究院整理
2021年芯源微半导体设备营收达8.13亿元，占比达98.1%。
数据来源：中商产业研究整理
3.中微公司
中微半导体设备(上海)股份有限公司的主营业务是半导体设备及泛半导体设备的研发、生产和销售。公司的主要产品有电容性等离子体刻蚀设备，电感性等离子体刻蚀设备，MOCVD设备，VOC设备。中微公司主营刻蚀设备、清洗设备和MOCVD设备，其刻蚀设备以干法刻蚀为主，在CCP刻蚀领域具有较大优势。
2022年第一季度实现营业收入达9.49亿元，同比增长57.38%；实现归母净利润1.17亿元，同比下降15.22%。
数据来源：中商产业研究院整理
2021年中微公司全年营收均来自半导体设备，其中占比最多的是专用设备，达80.7%。备品备件占17.9%、设备维护占1.8%。
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4.华峰测控
北京华峰测控技术股份有限公司主营业务为半导体自动化测试系统的研发，生产和销售。公司的主要产品为半导体自动化测试系统及测试系统配件，主要功能是检测晶圆样品和芯片封装样品的功能和性能。
2022年第一季度实现营业收入2.59亿元，同比增长123.28%；实现归母净利润1.22亿元，同比增长351.85%。
数据来源：中商产业研究院整理
2021年华峰测控半导体设备营收达8.77亿元，占整体的99.9%。
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5.京运通
北京京运通科技股份有限公司是我国真空晶体生长设备研发制造于一体的专业生产厂家。公司主要产品包括单晶硅生长炉、多晶硅铸锭炉、单晶硅棒、多晶硅锭及单（多）晶硅片、新能源发电、无毒环保脱硝催化剂等。
2022年京运通实现营业收入19.37亿元，同比增长76.73%；实现归母净利润0.09亿元，同比下降95.85%。
数据来源：中商产业研究院整理
2021年京运通半导体设备营收达0.22亿元，同比下降96.4%。
数据来源：中商产业研究院整理
五、半导体设备行业发展前景
1.半导体应用和消费市场需求稳定增长
物联网、5G通信、汽车电子等新型应用市场的不断发展产生了巨大的半导体产品需求，推动半导体行业进入新一轮的发展周期。全球范围内，晶圆厂产能扩充仍在继续，下游需求的不断发展为半导体设备制造产业的扩张和升级提供了机遇。
2.半导体产业重心转移为本土设备厂商提供巨大机遇
凭借巨大的市场容量以及多年的发展，中国已成为全球最大的半导体消费国和生产国。广阔的下游市场和不断完善的上下游产业链带动全球产能中心逐步向中国大陆转移。半导体产业规模的不断扩大将为国内设备厂商带来巨大发展机遇，国产设备将加速导入大陆晶圆厂，因此国产半导体设备将迎来快速发展期。
3.国家政策大力支持设备国产化提升
集成电路产业作为国民经济中基础性、关键性和战略性的产业。十四五”规划强调了发展集成电路产业对强化国家战略科技力量的意义。半导体设备行业作为整个半导体产业的重要支撑，是半导体产业化过程中的核心环节。目前国外龙头企业的产品仍占据全球半导体设备市场的大部分份额，但在部分细分领域本土企业已实现突破，未来国产化空间巨大。
文章来源：中商产业研究院
编辑：云朵匠 | 数商云(微信公众号名称：“数商云”)
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